光解等離子凈化原理分為三個步驟，*是均流預處理過程；第二是光解凈化反應過程；第三是等離子體深度反應過程。

　　*個均流預處理過程中，使高流速廢氣經過均流板后，可均勻分布在凈化設備內，廢氣能夠得到充分凈化，同時過濾棉可將前端未處理*的漆霧及水霧吸附，以保證后端凈化處理效率zui大化。

　　第二個過程為光解凈化反應過程。光解機理包含兩個過程，一是產生高能離子群體的過程中，一定數量的有害氣體分子受到高能作用，本身分解成單質或轉化為無害物質。二是含有大量高能粒子和高活性的自由基的離子群體，與大分子氣體（如H2S，甲苯等)作用，打開了其分子內部的化學健，轉化為無害的小分子物質。催化劑（二氧化鈦）在受到紫外線光照射時生成化學活潑性很強的超氧化物陰離子自由基和氫氧自由基，攻擊有機物，達到降解有機物的作用。二氧化鈦屬于非溶出型材料，在*分解有機污染物和殺滅菌的同時，自身不分解、不溶出，光催化作用持久，并具有持久的殺菌、降解污染物效果。

　　第三個過程為等離子體深度反應區域。特別針對前端難處理的頑固廢氣成分，進行深度二次反應。等離子體反應機理是，等離子體以每秒80萬次至500萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成分，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放到大自然。

　　該套凈化系統將等離子體和催化氧化劑兩項新技術有機結合，技術互補，大大提高了凈化效果。