催化燃燒是典型的氣—固相催化反應，實質是利用催化劑的深度催化氧化活性將有機物質（VOCs等）在燃點以下的溫度(200-400℃)與氧氣反應生成CO2、N2和H2O（反應在固體催化劑表面進行，吸附作用使有機分子富集而提高了反應速率；催化劑降低了反應的活化能，使有機廢氣在較低的起燃溫度下進行無焰燃燒）以下是關于該催化燃燒技術的工藝流程介紹。