紫外光廢氣凈化設備是使用吸收光并表現出催化作用（促進化學反響）來到達廢氣處理的目的。使用特制的廢氣處理設備發生必定納米波長的光對廢氣中的部分污染物質進行光解，然后到達降低廢氣中污染物質的目的。設備能處理部分易分化和氧化的物質，長處是設備造價低，處理潔凈無二次污染。揮發性有機化合物處理技術有出路的范疇之一的就是UV催化分化或光解。當廢氣暴露在光線下時，一般廢氣催化進程難以進行的化學反響能夠在室溫下進行。氧化鈦(TiO2)是常用的廢氣處理設備里典型uv光催化設備催化劑資料。氧化鈦是白色的微細粉末，在顯微鏡下觀察時具有多種晶體結構，其中被稱為銳鈦礦型的晶體的光催化功能高。